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  • 檢索結果：共4筆資料 檢索策略： "Lithography".ekeyword (精準) and year="97"


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    非接觸浸潤式無光罩微影系統研發
    • 機械工程系 /97/ 碩士
    • 研究生： 藍國瑋   指導教授： 鄭正元
    • 本研究應用浸潤式微影概念於先前實驗室研發設計的顯微鏡式DMD(Digital Micromirror Device)無光罩微影系統(Maskless Photolithography System)…
    • 點閱：181  下載：11 

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    圖案化聚苯乙烯高分子刷在矽晶片上的製備與分析
    • 材料科學與工程系 /97/ 碩士
    • 研究生： 莊璦綾   指導教授： 陳建光
    • 本研究利用原子轉移自由基聚合法（atom transfer radical polymerization，ATRP），在矽晶片上接枝聚合圖案化聚苯乙烯（polystyrene，PS）高分子刷；首先利…
    • 點閱：297  下載：0 
    • 全文公開日期 2014/07/13 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    氧化鎢奈米線之合成與特性分析
    • 光電工程研究所 /97/ 碩士
    • 研究生： 林俊誠   指導教授： 黃柏仁
    • ㄧ維(1D)的過渡金屬氧化奈米結構藉由自我催化組成的方式製備，受到了廣泛的研究。奈米線具高的深寬比結構，大的表面體積比與獨特的物理性質，包含光學、磁學與電學特性。氧化鎢(W18O49)為一N型的寬能…
    • 點閱：269  下載：9 

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    掃描探針微影製程參數最佳化之研究
    • 材料科學與工程系 /97/ 碩士
    • 研究生： 洪司融   指導教授： 郭中豐
    • 不論是筆記型電腦或數位相機等消費性電子產品在現代人的生活中皆是不可或缺的必需品，並往輕薄短小的目標邁進。因此，如何在矽晶圓上製作奈米尺寸之圖案，成為縮小電子元件之關鍵技術。 本論文提出的掃描探針微影…
    • 點閱：266  下載：0 
    • 全文公開日期 2014/08/04 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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